一、背景

由于芯片短缺问题和近2年海运拥堵和成本上升等因素，致使全球资本对于芯片制造工厂的投入增大，而中兴、华为的例子已经凸显出国产半导体供应链的重要性，除去地缘政治上的意义，发展半导体其实是中国经济的转型的必走之路。

半导体生产是一种高度复杂的工艺，涉及数百个工序。由于尺寸特殊且非常精密，几乎无法手动生产集成电路。此外，生产对纯度、洁净度和功能性提出了严格要求。因此，半导体工厂需要高度自动化、智能互联、?？榛伊榛畹纳砟?，物联网RFID技术推动半导体行业的自动化发展，提高芯片企业产能！

二、方案介绍

方案一：RFID在半导体车间AGV搬运机器人的应用

在半导体车间实现无人化运输管理，采用AGV小车进行物料运输，将RFID读写器安装在AGV小车底部，在运输轨道节点部署RFID载码体，当AGV小车经过轨道节点时，读写器自动采集载码体信息，实时掌握物料的运输情况及其往哪个生产工序运输。

方案二：RFID半导体产线的应用

将RFID读写器部署在机械手臂，晶圆盒部署RFID载码体，当机械手臂开始工作时，读写器自动采集载码体信息，及时了解是什么产品、如何加工、何时加工，并跟踪晶圆在加工流程中的具体位置，可显著减少晶圆的供应时间，并充分减少该工序的工作量，仓储管理系统将RFID的信息与生产控制系统 (MES) 的信息关联在一起，可实时监测所有晶圆。

方案三：RFID在半导体晶元储存柜的应用

将RFID读取器部署在储存柜承载平台支撑板下方，将RFID载码体安装至晶圆盒，当晶圆进入储存柜时，RFID读取器识别RFID载码体来监测拾放物料期间晶圆的储存位置。因此，必要时可立即找到所有储存的晶圆。

三、设备配置

1、JY-L8800 AGV RFID读卡器

JY-L8800是一款专为AGV小车设计的RFID地标读卡器，采用扁长型外观设计，可灵活安装，避免在AGV小车在行走偏离或特殊场景拐弯时漏读。内部价集成了射频部分通信协议，无需理解复杂的射频通信协议，使用简单，只需通过RS232/RS485通信接口便可完成标签数据的读取操作。支持FDX-B、EMID两种格式标签的读取，波特率最高可配置115200。

JY-L8800 AGV RFID读卡器性能参数

2、JY-V640半导体RFID读写器

JY-V640是面向半导体制造业开发的半导体RFID读写器，采用HDX半双工数据传输模式，支持SECS协议和Modbus RTU协议，符合世界SEMI标准，兼容TI公司产的CID载体，具有出色的读写可靠性和耐环境性，支持外部光电开关的IO信号触发读卡。

JY-V640半导体RFID读写器性能参数

3、JY-V610半导体RIFD读取器

JY-V610半导体RFID读取器小巧轻便，可灵活安装。支持134.2kHz工作频率，采用HDX半双工数据传输模式，支持标准Modbus RTU协议，内部集成射频部分通信协议，使用操作简单，无需理解复杂的射频通信协议。

JY-V610半导体RIFD读取器性能参数

四、实施效益

1，避免人为原因导致放置的高度以及数量有限，更加精准利用空间；

2，避免人工带来出错、耗时等问题；

3，可以跟踪所有的物料流；

4，及时掌握晶圆芯片的存取情况；

5，减少污染，保持晶圆洁净；

6，提升半导体行业自动化管理水平。